1 抛光液及其组分的作用
1.1 磨料磨料在抛光过程中主要通过微切削、微划擦、滚压等方式作用于工件被加工表面,去除表面材料。最理想的CMP过程是磨料的机械去除表面材料厚度等于化学反应生成物层厚度,此时,磨粒只需较小的机械作用去除结合力较弱的化学反应层的生成物,可减少或避免抛光表面缺陷。磨料的硬度、粒径、形状及其在抛光液中的质量浓度等综合因素决定了磨粒的去除行为和能力。
磨料相对工件的硬度对磨料的作用机制有着重要影响。M.Hutchings等人研究了在静态压力作用下,磨料与工件抛光表面变形的关系,并指出当磨粒硬度相对工件太大时,在抛光压力作用下很容易导致磨粒嵌入工件表面,在抛光表面残留划痕、磨蚀坑。根据纳米CeO2、Al2O3、SiO2磨料抛光硅片的效果,结果表明抛光过程中纳米磨料所发生的自身变形量与磨料的硬度成反比,硬度低的纳米磨料由于自身变形量大,其切入工件的深度小,工件抛光表面粗糙度低。1.2 PH值调节剂
抛光液中常常添加一些化学试剂用于调节抛光液的PH值,以保证抛光过程化学反应的进行,CMP抛光液一般分为酸性和碱性两大类。
酸性抛光液最早是由化学腐蚀液改进而来的,具有溶解性强、氧化剂选择范围大、抛光效率高等优点,常用于金属材料的抛光。酸性抛光液的PH值一般为4左右,可通过加入有机酸作为PH调节剂。其缺点是腐蚀性强,对抛光设备要求高,选择性较低,但是可加入抗蚀剂苯并三唑(BTA)来提高其选择性,不过BTA的引入会影响抛光液的稳定性。碱性抛光液具有选择性高、腐蚀性弱等优点,一般用于非金属材料的抛光。碱性抛光液的PH值往往在10~11.5范围内,常采用添加无机碱如KOH、NaOH或NH4OH等作为PH值调节剂,但其不足之处是在碱性溶液中很难找到氧化性强的氧化剂,因而抛光效率很低[9]。杨金波等人[11]研究了PH值调节剂对CMP抛光硅片的材料去除率影响,结果表明采用KOH将抛光液的PH值调节在10~11.5范围,材料去除率随PH值的增加而增大。
1.3 氧化剂在抛光过程中,为了能够较快地在抛光表面形成一层结合力弱的氧化膜,有利于后续的机械去除,常常会在抛光液中添加氧化剂。在氧化剂的氧化腐蚀和磨料的研磨共同作用下,被加工表面可达到高质量的全局平坦化效果。
1.4 分散剂一般来说,对抛光液的基本要求是磨粒均匀地悬浮分散在抛光液中,且具有足够的分布稳定性。所以在抛光之前有必要对抛光液进行过滤,滤掉磨料聚集产生的微量大尺寸磨料颗粒。然而,过滤并不能全部消除这种聚集现象,因为在抛光的实际过程中,工艺参数的变化会导致磨料的软聚集,从而影响工件表面的抛光效果。因此,往往需要在抛光液中添加分散剂来提高抛光液的分散稳定性,以减少溶液中磨料粒子团聚。
1.5 表面活性剂在抛光液中加入合适的表面活性剂,能够改善抛光液的分散稳定性,使分散剂吸附在磨粒的表面,从而改变磨粒的表面性质,增强了颗粒间的排斥作用能。
观研天下(Insight&Info Consulting Ltd)发行的报告书《2018-2023年中国抛光液行业市场竞争现状分析与投资发展前景研究报告》主要研究##行业市场经济特性(产能、产量、供需),投资分析(市场现状、市场结构、市场特点等以及区域市场分析)、竞争分析(行业集中度、竞争格局、竞争对手、竞争因素等)、工艺技术发展状况、进出口分析、渠道分析、产业链分析、替代品和互补品分析、行业的主导驱动因素、政策环境、重点企业分析(经营特色、财务分析、竞争力分析)、商业投资风险分析、市场定位及机会分析、以及相关的策略和建议。公司多年来已为上万家企事业单位、咨询机构、金融机构、行业协会、个人投资者提供了专业的行业分析报告。我们的客户涵盖了中石油天然气集团公司、德勤会计师事务所、华特迪士尼公司、华为技术有限公司等上百家世界行业领先企业,并得到了客户的广泛认可。我们的行业分析报告内容可以应用于多种项目规划制订与专业报告引用,如项目投资计划、地区与企业发展战略、项目融资计划、地区产业规划、商业计划书、招商计划书、招股说明书等等。
第一章中国抛光液行业发展概述1.1 抛光液行业发展情况
1.1 .1抛光液定义
1.1 .2抛光液行业发展历程
1.2 抛光液产业链分析
1.3中国抛光液行业经济指标分析
第二章中国抛光液行业市场发展环境分析(PEST分析法)
2.1 中国经济环境分析
2.2 中国抛光液行业政策环境分析
2.3 中国抛光液行业社会环境分析
2.4 中国抛光液行业技术环境分析
第三章 抛光液产品生产工艺及技术趋势研究
3.1 质量指标情况
3.2 国外主要生产工艺
3.3 国内主要生产方法
3.4 国内外技术对比分析
3.5 国内外最新技术进展及趋势研究
第四章全球抛光液产品市场运行态势分析
4.1 全球抛光液市场现状分析
4.1.1全球抛光液产品市场供需分析
4.1.2全球抛光液价格走势分析
4.1.3全球抛光液产品市场运行特征分析
4.2 全球抛光液产品主要国家及地区发展情况分析
4.2.1美国
4.2.2亚洲
4.2.3欧洲
4.3 全球抛光液产品外商在华投资动态
第五章国内抛光液产品市场运行结构分析
5.1 国内抛光液市场规模分析
5.1.1 总量规模
5.1.2 增长速度
5.1.3 市场季节变动分析-报告基地出版
5.2 国内外抛光液产品市场供给平衡性分析
第六章 近3年中国抛光液行业市场现状运营分析
6.1 抛光液市场现状分析及预测
6.1 .1 近3年中国抛光液市场规模分析
6.1 .2 2018-2023年中国抛光液市场规模预测
6.2 抛光液产品产能分析及预测
6.2 .1 近3年中国抛光液产能分析
6.2 .2 2018-2023年中国抛光液产能预测
6.3 抛光液产品产量分析及预测
6.3 .1 近3年中国抛光液产量分析
6.3 .2 2018-2023年中国抛光液产量预测
6.4 抛光液市场需求分析及预测
6.4 .1 近3年中国抛光液市场需求分析
6.4 .2 2018-2023年中国抛光液市场需求预测
6.5 抛光液价格趋势分析
6.5 .1 近3年中国抛光液市场价格分析
6.5 .2 2018-2023年中国抛光液市场价格预测
6.6 抛光液产品市场容量分析及预测
6.6 .1 近3年中国抛光液市场容量分析
6.6 .2 2018-2023年中国抛光液市场容量预测
6.7 抛光液行业生产分析
6.7.1产品及原材料进口、自有比例
6.7.2国内产品及原材料生产基地分布
6.7.3产品及原材料产业发展分析
6.7.4产品及原材料产能情况分析-中国报告基地
6.8 近3年抛光液行业市场供给分析
6.8.1 抛光液生产规模现状
6.8.2 抛光液产能规模分布
6.8.3 抛光液市场价格走势
6.8.4 抛光液重点厂商分布
6.8.5 抛光液产供状况分析
第七章抛光液国内拟在建项目分析及竞争对手动向
7.1 国内主要竞争对手动向
7.2 国内拟在建项目分析
第八章 近3年抛光液行业主要原材料采购状况分析
8.1 近3年抛光液成本分析
8.1.1 原材料成本走势分析
8.1.2劳动力供需及价格分析
8.1.3其他方面成本走势分析
8.2 上游原材料价格与供给分析
8.2.1主要原材料情况
8.2.2主要原材料价格与供给分析
8.2.3 2018-2023年主要原材料市场变化趋势预测
8.3 【抛光液】产业链的分析
8.3.1 行业集中度-中国报告基地
8.3.2主要环节的增值空间
8.3.3行业进入壁垒和驱动因素
8.3.4上下游产业影响及趋势分析
第九章 近5年国内抛光液产品进出口贸易分析
9.1 近5年国内抛光液产品进口情况分析
9.2 近5年国内抛光液产品出口情况分析
9.3 近5年国内进出口相关政策及税率研究
9.4 代表性国家和地区进出口市场分析
9.5 2018-2023年抛光液产品进出口预测分析
第十章 近3年中国抛光液市场竞争格局分析
10.1 行业竞争结构分析
10.2 行业集中度分析
10.3 行业国际竞争力比较
10.4 抛光液竞争力优势分析
10.5 抛光液行业竞争格局分析
10.5 .1抛光液行业竞争分析
10.5 .2国内外抛光液竞争分析
10.5 .3中国抛光液市场竞争分析
10.5 .4中国抛光液市场集中度分析
10.5 .5中国抛光液竞争对手市场份额
10.5 .6中国抛光液主要品牌企业梯队分布
第十一章 行业成长性分析
11.1 近3年行业销售收入增长分析
11.2 近3年行业总资产增长分析
11.3 近3年行业固定资产增长分析
11.4 近3年行业净资产增长分析
11.5 近3年行业利润增长分析
11.6 2018-2023年行业增长预测
第十二章 行业盈利能力分析
12.1 近3年行业销售毛利率
12.2 近3年行业销售利润率
12.3 近3年行业总资产利润率
12.4 近3年行业净资产利润率
12.5 近3年行业产值利税率
12.6 2018-2023年行业盈利能力预测
第十三章近3年中国抛光液行业营销策略和销售渠道考察
13.1 中国抛光液行业目前主要营销渠道分析
13.2 中国抛光液行业重点企业营销策略
13.3 中国抛光液行业产品营销策略建议
13.4 中国抛光液行业营销渠道变革报告基地专家研究
13.4.1 抛光液行业营销渠道新理念
13.4.2 抛光液行业渠道管理新发展
13.4.3 当前中国中小企业的外部营销环境
13.4.4 中小企业营销渠道存在的问题和不足
13.5 中国抛光液行业营销渠道发展趋势点评
13.5.1营销渠道结构扁平化
13.5.2营销渠道终端个性化
13.5.3营销渠道关系互动化
13.5.4营销渠道商品多样化
第十四章 中国抛光液产业市场营销策略竞争深度研究
14.1 不同规模企业市场营销策略竞争分析
14.1.1不同规模企业市场产品策略
14.1.2不同规模企业市场渠道策略
14.1.3不同规模企业市场价格策略
14.1.4不同规模企业广告媒体策略
14.1.5不同规模企业客户服务策略
14.2 不同所有制企业市场营销策略竞争分析
14.2.1不同所有制企业市场产品策略
14.2.2不同所有制企业市场渠道策略
14.2.3不同所有制企业市场价格策略
14.2.4不同所有制企业广告媒体策略
14.2.5不同所有制企业客户服务策略
14.3 不同规模企业/所有制企业市场营销策略专家观点。
第十五章中国抛光液重点企业竞争力分析
15.1 抛光液公司
15.1.1企业概况
15.1.2企业财务指标
15.1.3企业竞争优势分析
15.1.4企业主营产品分析
15.1.5企业经营情况分析
15.1.6企业发展新动态与战略规划分析
15.2 抛光液公司
15.3 抛光液公司
15.4 抛光液公司
15.5 抛光液公司
15.6 抛光液公司
15.7 其他重点优势企业分析
第十六章 近3年抛光液地区销售情况及竞争力深度研究
16.1 抛光液华北地区行业发展状况
16.1.1 抛光液供给情况
16.1.2 抛光液需求情况
16.1.3 抛光液行业动态
16.1.4 抛光液行业市场运行情况
16.2 抛光液东北地区行业发展状况
16.2.1 抛光液供给情况
16.2.2 抛光液需求情况
16.2.3 抛光液行业动态
16.2.4 抛光液行业市场运行情况
16.3 抛光液华东地区行业发展状况分析
16.3.1 抛光液供给情况
16.3.2 抛光液需求情况
16.3.3 抛光液行业动态
16.3.4 抛光液行业市场运行情况
16.4 抛光液华南地区行业发展状况分析
16.4.1 抛光液供给情况
16.4.2 抛光液需求情况
16.4.3 抛光液行业动态
16.4.4 抛光液行业市场运行情况
16.5 抛光液西部地区行业发展状况分析
16.5.1 抛光液供给情况
16.5.2 抛光液需求情况
16.5.3 抛光液行业动态
16.5.4 抛光液行业市场运行情况
16.6 抛光液华中地区行业发展状况分析
16.6.1抛光液供给情况
16.6.2抛光液需求情况
16.6.3抛光液行业动态
16.6.4 抛光液行业市场运行情况
第十七章近3年抛光液下游应用行业发展分析
17.1 下游应用行业发展状况
17.2 下游应用行业市场集中度
17.3 下游应用行业发展趋势
17.4下游行业需求分析
17.4.1下游行业发展现状与前景
17.4.2下游行业领域应用现状
17.4.3下游行业对抛光液的需求规模
17.4.4下游行业抛光液行业主要企业及经营情况
17.4.5下游行业抛光液需求前景
第十八章 2018-2023年抛光液行业前景展望
18.1 2018-2023年行业供求形势展望
18.1.1 上游原料供应预测及市场情况
18.1.2 2018-2023年抛光液下游需求行业发展展望
18.1.3 2018-2023年抛光液行业产能预测
18.1.4进出口形势展望--中国报告基地网
18.2 抛光液市场前景分析
18.2.1 抛光液市场容量分析
18.2.2 抛光液行业利好利空政策
18.2.3 抛光液行业发展前景分析
18.3 抛光液未来发展预测分析
18.3.1 中国抛光液发展方向分析
18.3.2 2018-2023年中国抛光液行业发展规模
18.3.3 2018-2023年中国抛光液行业发展趋势预测
18.4 2018-2023年抛光液行业供需预测
18.4.1 2018-2023年抛光液行业供给预测
18.4.2 2018-2023年抛光液行业需求预测
18.5 影响企业生产与经营的关键趋势
18.5.1 市场整合成长趋势-中研 纵横版权
18.5.2需求变化趋势及新的商业机遇预测
18.5.3企业区域市场拓展的趋势
18.5.4科研开发趋势及替代技术进展
18.5.5影响企业销售与服务方式的关键趋势
18.5.6中国抛光液行业SWOT分析
18.6 行业市场格局与经济效益展望
18.6.1 市场格局展望
18.6.2 经济效益预测-中研纵 横版权
18.7 总体行业“十三五”整体规划及预测
18.7.1 2018-2023年抛光液行业国际展望
18.7.2 2018-2023年国内抛光液行业发展展望
第十九章 2018-2023年抛光液行业创新投资机会与风险分析
19.1 创新投资环境的分析与对策
19.2 创新投资机遇分析
19.3 创新投资风险分析
19.3.1 政策风险
19.3.2经营风险
19.3.3技术风险
19.3.4进入退出风险
19.4 创新投资策略与建议
19.4.1 企业资本结构选择
19.4.2 企业战略选择
19.4.3 投资区域选择
19.4.4 专家创新投资建议
第二十章 2018-2023年抛光液行业盈利模式与营销战略分析
20.1 我国抛光液行业商业模式探讨
20.1.1 行业国内营销模式分析
20.1.2 行业主要销售渠道分析
20.1.3 行业促销方式分析
20.2 市场的重点客户战略实施研究
20.3 抛光液行业企业品牌营销战略分析
20.3.1 产品质量保证
20.3.2 生产技术提升
20.3.3 产品结构调整
20.3.4 产品销售网络
20.3.5 品牌宣传策略
20.3.6 销售服务策略
20.3.7 品牌保护策略
20.3.8 品牌发展战略分析
20.4 我国抛光液行业发展与投资注意事项分析
20.4.1 产品技术应用注意事项
20.4.2 项目投资注意事项
20.4.3 产品生产开发注意事项
20.4.4 产品销售注意事项
20.5 投资路径设计
20.5.1 投资对象
20.5.2 投资模式
20.5.3 预期财务状况分析
20.5.4 风险资本退出方式
第二十一章2018-2023年抛光液行业项目投资建议
21.1 中国生产、营销企业投资运作模式分析
21.2 外销与内销优势分析
21.3 2018-2023年全国投资规模预测
21.4 2018-2023年抛光液行业投资收益预测
21.5 2018-2023年抛光液项目投资建议
图表详见正文(LPJP)
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