半导体薄膜沉积设备沉积工艺介绍
指标 |
原子层沉积ALD) |
物理式真空镀膜(PVD) |
化学式真空镀膜(CVD) |
原理 |
表面反应沉积 |
蒸发凝固 |
气相反应沉积 |
过程 |
层状生长 |
形核长大 |
形核长大 |
台阶覆盖率 |
优秀 |
一般 |
好 |
速率 |
慢 |
快 |
快 |
温度 |
低 |
低 |
高 |
层均匀性 |
优秀 |
一般 |
较好 |
厚度控制 |
反应回圈次数 |
沉积时间 |
沉积时间，气象分压 |
成分 |
均匀，杂质少 |
无杂质 |
易含杂质 |
资料来源：公开资料整理
2019年全球半导体薄膜沉积设备市场格局
数据来源：公开资料整理
从全球范围来看，近年来，全球半导体薄膜沉积设备市场稳步增长，市场规模不断扩大。数据显示，2019年全球半导体薄膜沉积设备市场规模为155亿美元，预计2020年将达到172亿美元，2025年将达到340亿美元。
2019-2025年全球半导体薄膜沉积设备市场规模及预测
数据来源：公开资料整理
从全球竞争格局来看，全球半导体薄膜沉积设备市场主要由国外企业占据。细分来看，数据显示，2019年在全球CVD设备市场中,应用材料、泛林半导体与TEL三大厂商市场份额合计为70%；在全球PVD设备市场中，应用材料垄断市场，占比高达85%；在全球ALD设备市场中，TELASM二者市场份额合计为60%。
全球CVD设备市场竞争格局
数据来源：公开资料整理
全球PVD设备市场竞争格局
数据来源：公开资料整理
全球ALD设备市场竞争格局
数据来源：公开资料整理
从国内范围来看，作为晶圆制造的核心步骤，半导体薄膜沉积设备对于推进集成电路制造有着不可忽视的作用，因此我国政府也陆续出台了一系列政策扶持半导体薄膜沉积设备产业发展。
我国半导体薄膜沉积设备产业相关政策
| 政策名称 |
主要内容 |
| 《中国制造2025》 |
提升封装、测试产业的自主发展能力，形成关键制造设备的供货能力。 |
| 《我国集成电路产业“十三五”发展规划建议》 |
关键装备和材料进入国际采购体系，基本建成技术先进、安全可靠的集成电路产业体系。 |
| 《国家高新技术产业开发区“十三五”规划》 |
优化产业结构，推进集成电路及专用装备关键核心技术突破和应用。 |
| 《“十三五”国家科技创新规划》 |
攻克14nm刻蚀设备、薄膜设备、掺杂设备等高端制造装备及零部件，突破28nm浸没式光刻机及核心部部件。 |
| 《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》项目(02专项) |
构建光刻设备和封测等产业技术创新联盟，集合产业链上制造工艺、装备、相关零部件和材料等上下游企业、相关研究机构和高等院校达200多家单位共同开展产学研用协同攻关。 |
资料来源：公开资料整理
但从上述数据可知，全球半导体薄膜沉积设备由国外企业占据，我国半导体薄膜沉积设备市场占比较低，产品国产化率仅为2%。因此，加速相关技术研发，实现半导体薄膜沉积设备国产替代，是我国半导体薄膜沉积设备行业发展的重中之重。
我国半导体薄膜沉积设备国产化情况
数据来源：公开资料整理
从国内企业竞争情况来看，目前，我国半导体薄膜沉积设备行业龙头有北方华创和沈阳拓荆，近两年这两家公司不断加速技术研发，在技术储备以及客户认证方面取得了良好进展，或能带动行业国产率提升。数据显示，从长江存储近三年的国产半导体薄膜沉积设备企业中标数量与份额来看，北方华创与沈阳拓荆两家企业的市场份额不断扩大。
2017-2019年长江储存国产半导体薄膜沉积设备企业中标数量与份额
| 年份 |
指标 |
数量 |
国内企业份额 |
| 2017年 |
ALCVD |
22 |
0% |
| CVD |
39 |
||
| PECVD |
21 |
||
| PVD |
6 |
||
| 其他沉积设备 |
2 |
||
| 外延生长设备 |
8 |
||
| 2018年 |
ALCVD |
15 |
0% |
| CVD |
15 |
||
| PECVD |
3 |
||
| 外延生长设备 |
2 |
||
| PVD |
2 |
100%（北方华创） |
|
| 2019年 |
ALCVD |
67 |
0% |
| CVD |
98 |
||
| 其他沉积设备 |
1 |
||
| 外延生长设备 |
17 |
||
| PECVD |
17 |
24%（沈阳拓荆） |
|
| PVD |
12 |
8%（北方华创） |
资料来源：公开资料整理（shz）
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本研究报告数据主要采用国家统计数据，海关总署，问卷调查数据，商务部采集数据等数据库。其中宏观经济数据主要来自国家统计局，部分行业统计数据主要来自国家统计局及市场调研数据，企业数据主要来自于国家统计局规模企业统计数据库及证券交易所等，价格数据主要来自于各类市场监测数据库。本研究报告采用的行业分析方法包括波特五力模型分析法、SWOT分析法、PEST分析法，对行业进行全面的内外部环境分析，同时通过资深分析师对目前国家经济形势的走势以及市场发展趋势和当前行业热点分析，预测行业未来的发展方向、新兴热点、市场空间、技术趋势以及未来发展战略等。
【报告大纲】
第一章 2017-2020年中国半导体行业发展概述
第一节 半导体行业发展情况概述
一、半导体行业相关定义
二、半导体行业基本情况介绍
三、半导体行业发展特点分析
第二节 中国半导体行业上下游产业链分析
一、产业链模型原理介绍
二、半导体行业产业链条分析
三、中国半导体行业上游环节分析
四、中国半导体行业下游环节分析
第三节 中国半导体行业生命周期分析
一、半导体行业生命周期理论概述
二、半导体行业所属的生命周期分析
第四节 半导体行业经济指标分析
一、半导体行业的赢利性分析
二、半导体行业的经济周期分析
三、半导体行业附加值的提升空间分析
第五节 中国半导体行业进入壁垒分析
一、半导体行业资金壁垒分析
二、半导体行业技术壁垒分析
三、半导体行业人才壁垒分析
四、半导体行业品牌壁垒分析
五、半导体行业其他壁垒分析
第二章 2017-2020年全球半导体行业市场发展现状分析
第一节 全球半导体行业发展历程回顾
第二节 全球半导体行业市场区域分布情况
第三节 亚洲半导体行业地区市场分析
一、亚洲半导体行业市场现状分析
二、亚洲半导体行业市场规模与市场需求分析
三、亚洲半导体行业市场前景分析
第四节 北美半导体行业地区市场分析
一、北美半导体行业市场现状分析
二、北美半导体行业市场规模与市场需求分析
三、北美半导体行业市场前景分析
第五节 欧盟半导体行业地区市场分析
一、欧盟半导体行业市场现状分析
二、欧盟半导体行业市场规模与市场需求分析
三、欧盟半导体行业市场前景分析
第六节 2021-2026年世界半导体行业分布走势预测
第七节 2021-2026年全球半导体行业市场规模预测
第三章 中国半导体产业发展环境分析
第一节 我国宏观经济环境分析
一、中国GDP增长情况分析
二、工业经济发展形势分析
三、社会固定资产投资分析
四、全社会消费品半导体总额
五、城乡居民收入增长分析
六、居民消费价格变化分析
七、对外贸易发展形势分析
第二节 中国半导体行业政策环境分析
一、行业监管体制现状
二、行业主要政策法规
第三节 中国半导体产业社会环境发展分析
一、人口环境分析
二、教育环境分析
三、文化环境分析
四、生态环境分析
五、消费观念分析
第四章 中国半导体行业运行情况
第一节 中国半导体行业发展状况情况介绍
一、行业发展历程回顾
二、行业创新情况分析
三、行业发展特点分析
四、行业发展动态
第二节 中国半导体行业市场规模分析
第三节 中国半导体行业供应情况分析
第四节 中国半导体行业需求情况分析
第五节 中国半导体行业供需平衡分析
第六节 中国半导体行业发展趋势分析
第五章 中国半导体所属行业运行数据监测
第一节 中国半导体所属行业总体规模分析
一、企业数量结构分析
二、行业资产规模分析
第二节 中国半导体所属行业产销与费用分析
一、流动资产
二、销售收入分析
三、负债分析
四、利润规模分析
五、产值分析
第三节 中国半导体所属行业财务指标分析
一、行业盈利能力分析
二、行业偿债能力分析
三、行业营运能力分析
四、行业发展能力分析
第六章 2017-2020年中国半导体市场格局分析
第一节 中国半导体行业竞争现状分析
一、中国半导体行业竞争情况分析
二、中国半导体行业主要品牌分析
第二节 中国半导体行业集中度分析
一、中国半导体行业市场集中度分析
二、中国半导体行业企业集中度分析
第三节 中国半导体行业存在的问题
第四节 中国半导体行业解决问题的策略分析
第五节 中国半导体行业竞争力分析
一、生产要素
二、需求条件
三、支援与相关产业
四、企业战略、结构与竞争状态
五、政府的作用
第六节 产业结构发展预测
一、产业结构调整指导政策分析
二、产业结构调整中消费者需求的引导因素
三、中国半导体行业参与国际竞争的战略市场定位
四、产业结构调整方向分析
第七章 2017-2020年中国半导体行业需求特点与动态分析
第一节 中国半导体行业消费者基本情况
第二节 中国半导体行业消费者属性及偏好调查
第三节 半导体行业成本分析
第四节 半导体行业价格影响因素分析
一、供需因素
二、成本因素
三、其他因素
第五节 中国半导体行业价格现状分析
第六节 中国半导体行业平均价格走势预测
一、中国半导体行业价格影响因素
二、中国半导体行业平均价格走势预测
三、中国半导体行业平均价格增速预测
第八章 2017-2020年中国半导体行业区域市场现状分析
第一节 中国半导体行业区域市场规模分布
第二节 中国华东地区半导体市场分析
一、华东地区概述
二、华东地区经济环境分析
三、华东地区半导体市场规模分析
四、华东地区半导体市场规模预测
第三节 华北地区市场分析
一、华北地区概述
二、华北地区经济环境分析
三、华北地区半导体市场规模分析
四、华北地区半导体市场规模预测
第四节 华南地区市场分析
一、华南地区概述
二、华南地区经济环境分析
三、华南地区半导体市场规模分析
四、华南地区半导体市场规模预测
第九章 2017-2020年中国半导体行业竞争情况
第一节 中国半导体行业竞争结构分析（波特五力模型）
一、现有企业间竞争
二、潜在进入者分析
三、替代品威胁分析
四、供应商议价能力
五、客户议价能力
第二节 中国半导体行业SWOT分析
一、行业优势分析
二、行业劣势分析
三、行业机会分析
四、行业威胁分析
第三节 中国半导体行业竞争环境分析（PEST）
一、政策环境
二、经济环境
三、社会环境
四、技术环境
第十章 半导体行业企业分析（随数据更新有调整）
第一节 企业
一、企业概况
二、主营业务
三、运营情况
四、公司优劣势分析
第二节 企业
一、企业概况
二、主营业务
三、运营情况
四、公司优劣势分析
第三节 企业
一、企业概况
二、主营业务
三、运营情况
四、公司优劣势分析
第四节 企业
一、企业概况
二、主营业务
三、运营情况
四、公司优劣势分析
第五节 企业
一、企业概况
二、主营业务
三、运营情况
四、公司优劣势分析
第六节 企业
一、企业概况
二、主营业务
三、运营情况
四、公司优劣势分析
第七节 企业
一、企业概况
二、主营业务
三、运营情况
四、公司优劣势分析
第八节 企业
一、企业概况
二、主营业务
三、运营情况
四、公司优劣势分析
第九节 企业
一、企业概况
二、主营业务
三、运营情况
四、公司优劣势分析
第十节 企业
一、企业概况
二、主营业务
三、运营情况
四、公司优劣势分析
第十一章 2021-2026年中国半导体行业发展前景分析与预测
第一节 中国半导体行业未来发展前景分析
一、半导体行业国内投资环境分析
二、中国半导体行业市场机会分析
三、中国半导体行业投资增速预测
第二节 中国半导体行业未来发展趋势预测
第三节 中国半导体行业市场发展预测
一、中国半导体行业市场规模预测
二、中国半导体行业市场规模增速预测
三、中国半导体行业产值规模预测
四、中国半导体行业产值增速预测
五、中国半导体行业供需情况预测
第四节 中国半导体行业盈利走势预测
一、中国半导体行业毛利润同比增速预测
二、中国半导体行业利润总额同比增速预测
第十二章 2021-2026年中国半导体行业投资机遇、风险与营销分析
第一节 半导体产业投资面临的机遇
一、政策机遇
二、技术创新机遇
三、市场机遇
四、其他机遇
第二节 半导体行业投资风险分析
一、半导体行业政策风险分析
二、半导体行业技术风险分析
三、半导体行业竞争风险分析
四、半导体行业其他风险分析
第三节 半导体行业企业经营发展分析及建议
一、半导体行业经营模式
二、半导体行业销售模式
三、半导体行业创新方向
第四节 半导体行业应对策略
一、把握国家投资的契机
二、竞争性战略联盟的实施
三、企业自身应对策略
第十三章 2021-2026年中国半导体行业发展战略及规划建议
第一节 中国半导体行业品牌战略分析
一、半导体企业品牌的重要性
二、半导体企业实施品牌战略的意义
三、半导体企业品牌的现状分析
四、半导体企业的品牌战略
五、半导体品牌战略管理的策略
第二节 中国半导体行业市场的重点客户战略实施
一、实施重点客户战略的必要性
二、合理确立重点客户
三、对重点客户的营销策略
四、强化重点客户的管理
五、实施重点客户战略要重点解决的问题
第三节 中国半导体行业战略综合规划分析
一、战略综合规划
二、技术开发战略
三、业务组合战略
四、区域战略规划
五、产业战略规划
六、营销品牌战略
七、竞争战略规划
第十四章 2021-2026年中国半导体行业发展策略及投资建议
第一节 中国半导体行业产品策略分析
一、服务产品开发策略
二、市场细分策略
三、目标市场的选择
第二节 中国半导体行业定价策略分析
第三节 中国半导体行业营销渠道策略
一、半导体行业渠道选择策略
二、半导体行业营销策略
第四节 中国半导体行业价格策略
第五节 观研天下行业分析师投资建议
一、中国半导体行业重点投资区域分析
二、中国半导体行业重点投资产品分析
图表详见正文······
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